製品情報

製品紹介

ネガ型感光性材料

ネガ型感光性材料としてはビスアジド化合物があり、主にカラーフィルターや半導体集積回路形成に使用される光硬化樹脂の架橋剤として用いられています。弊社では各種ビスアジド化合物を高純度で提供しています。

BAC-M BAC-M

ポジ型感光性材料

半導体集積回路や液晶ディスプレイなどの微細加工用ポジ型フォトレジストの感光材としてナフトキノンジアジド化合物が使用されており、弊社ではナフトキノンジアジド化合物を高純度かつ多量に製造しています。
下記製品以外にも、各種ナフトキノンジアジドスルホン酸と各種多価フェノールとのエステル(PAC)を、金属含有レベルppbオーダーまで低減し、提供しています。

代表的な製品

NTタイプ NTタイプ
TPPAタイプ TPPAタイプ

化学増幅型光酸発生剤(PAG)

半導体集積回路の微細加工には化学増幅型レジストが使用されます。弊社では、化学増幅型レジストに使用される、光酸発生剤(PAG)を高純度で提供しています。
下記製品以外にも、各種光酸発生剤の製造・開発をしており、お客様からの要望に応じた合成も承っています。

代表的な製品

TPS-TF DTBPI-PFBS
TPS-TF DTBPI-PFBS
TPS-CS TPS-PFBS
TPS-CS TPS-PFBS

レジスト用アクリル系ポリマー

微細加工に欠かせない半導体フォトレジスト用ポリマーを高品質(低メタル化、分子量制御)で提供しています。

次世代エネルギーを根底で支える技術

これからの社会を支えていくエネルギーデバイスとして脚光を浴びている電気二重層キャパシタ。風力発電の蓄電設備や自動車、また色素増感太陽電池や燃料電池への応用も研究される注目のエネルギーデバイスです。その製造材料となる電解液・イオン液体を提供するのがエネルギー事業です。私たちは感光性材料事業で25年間培った高純度精製技術を応用し、高純度の高品質「電解液」を安定的に量産しています。

東洋合成工業の「高純度電解液」

東洋合成工業では、半導体向けに研究開発してきた感光性材料事業25年のノウハウを応用し、2004年に「高純度電解液」を製造開始しました。蓄電デバイス(リチウムイオン二次電池や電気二重層キャパシタなど)の電解液として、低炭素社会に不可欠なエネルギーデバイスの信頼性向上に貢献してまいります。