TOYO GOSEI 東洋合成工業株式会社


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Information 2004年度
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ArF設備完成で製造量15トン/年の生産体制確立

東洋合成工業では、2002年11月にArFポリマー製造設備(A-1設備)を完成し、お客様から予想を上回るご注文を頂いております。今後、更に、デジタル家電や携帯電話向け半導体の需要拡大を受けて2004年5月に、A-1設備の5倍の能力を有する2系列目のArFポリマー製造設備(A-2設備)が完成しました。この設備の完成で、年産15トンのArFポリマーの量産体制が確立しました。

このA-2設備は、A-1設備で認定を受けている製品のスケールアップが容易にできるように設計されております。これにより需要の急拡大が見込まれる製品の供給にも十分に答えることが可能になりました。今後、この2系列の設備の特徴を活かして試作生産に続き、量産体制を築いて参ります。

一方、当社では、ArFモノマーからArFポリマーまでの一貫生産にも取り組んでおり、2004年6月には、設置後改善を重ねてきた薄膜蒸留器が稼動を開始しました。これにより各種のArFモノマーの受注合成が自由に行われる様になりました。

装置能力及び処理量は下記の通りです。

到達真空度    : 1 Pa(0.008 Torr)以下
最高加熱温度  : 160 ℃
処理能力     : 50 L/Hr

私どもは、お客様のニーズに合ったArFポリマーを「高品質、低価格」でご提供させていただきたいと考えております。

2004年06月28日 00:00
東洋合成工業株式会社


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