第3感光材工場の近況

東洋合成工業（株）千葉工場内に平成13年1月感光材第3工場が完成しました。各レジストメーカーに新設備の認定を得るためにトライアル生産を行い、認定を取得いたしました。この新設備の生産能力は200t/yで一部設備の増強により300t/yになります。感光材第3工場のNQD-ester製造設備は、「高品質」、「安定品質」、「低コスト」を目標に顧客ニーズに対応すべく、「全工程コンピューターコントロールによる工程管理」、「設備の大型化による低コスト化」、「乾燥・充填工程のロボット導入による省人化」を行いました。 この結果、製品のロット間の品質変動のない安定した品質で、ユーザーへの供給が可能となりました。 反転式遠心分離機 半導体産業は、不況を脱しきれない状況ではありますが、当社の感光材はマイクロフォトレジスト以外の用途に支えられ、次第に稼働率も向上しております。また、現在、工場内スペースにKrFフォトレジスト樹脂製造設備に続き、ArF対応フォトレジスト用ポリマー樹脂の専用設備を建設中です。これに伴い、工場内のクリーン度も更に高める計画をしております。将来の需要拡大に対応できる増設用スペースも確保致しました。 得意先のニーズに対応して、年内は評価サンプルの生産を行い、品質評価をお願いしております。 新工場の従業員一同、TPM（Total Productive Maintenance）活動の導入に励み、「高品質・低価格」で感光材を提供し、顧客の皆様のご要望に応えられるようにベクトルを合わせ、生産活動に取組んでおります。