TOYO GOSEI 東洋合成工業株式会社


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Information 2002年度
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ArF樹脂製造設備(マルチ対応)から専用設備の建設

東洋合成工業(株) 千葉工場内は、ビスアジド系感光材・水溶性感光性材料(ノンクロム化CRT材料含む)・有機アルカリ現像液・ポジ型感光材料(ナフトキノン系)及び酸発生材料(PAG)の製造を始めて14年になります。益々、半導体の集積化が進む中で、次世代の感光性材料をお客様に『高品質・低価格』で提供するために、2002年2月KrFフォトレジスト樹脂製造設備が完成しました。
 ArF樹脂には、メタクリル酸エステル・アダマンタン化合物等の重合物が使用されることが主流になりつつありますが、レジストメーカー各社にて独自の開発が盛んに進められております。
 当社では、いち早くレジストメーカー各社の要望に対応すべく、2002年3月193nm対応ArF樹脂製造設備(マルチ対応)が完成しました。
 2002年11月末完成を目標に、マルチプラントから専用設備の建設に着手しました。設備は、溶解槽、反応槽、晶析槽、遠心濾過機、乾燥機及びフィルタ類を備えております。工程管理には、プロセスコンピュータの導入及び工場内のクリーン化を進め、品質最優先の対応で計画しております。
 生産能力は月産500kg以上を計画しておりますが、需要増にも対応すべく、設備スペース(月産2,000kg以上)を確保すると同時に、タイムリーに供給できる体制を整えております。
 TPM(Total Productive Maintenance)活動の導入成果を『高品質・低価格』で提供する為に従業員一同ベクトルを合わせ、生産に取り組みます。

2002年07月31日 00:00
東洋合成工業株式会社


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