ArFポリマー設備増強と薄膜蒸発器導入

東洋合成工業(株)千葉工場では、集積度が上がる一方の半導体製造に呼応できる次世代感光性材料を「低価格、高品質」で提供すべく工場一丸となって取り組んでおります。 2002年11月末、ArF樹脂専用製造設備を竣工させました。竣工後は、お客様から予想を上回る注文をいただくことができました。今後ますます増加するArF樹脂の需要にこたえるため、年産10～15トンの製造設備を計画しており2004年春には立ち上げ、お客様のご要請により迅速におこたえいたします。 ArF樹脂は出発物質の単量体の組み合わせにより、多くの製品が開発されています。 当社では、多品種の製品を「迅速、低価格」でお使いいただけるよう,原料単量体の合成からArF樹脂製造まで一貫して取り組んでゆきます。2003年10月には、原料単量体を効率的に精製するため、千葉工場に薄膜蒸発器を導入いたします。薄膜蒸発器を活用することにより、従来分離精製が困難であった分子量の大きな物質の効率的な精製が可能になります。 ArF樹脂設備増強と薄膜蒸発器を導入して、製品需要がのびる一方ますます多様化するArF樹脂品種のご注文に今後とも即応させていただきます。