TOYO GOSEI 東洋合成工業株式会社


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研究開発
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UVナノインプリント用樹脂
  • PAK-01
  • PAK-02
  • 選定のポイント

UVナノインプリント用樹脂 PAK-01

光硬化性樹脂PAK-01は国内初のUVナノインプリント(UV-NIL)専用樹脂です。本製品はUVナノインプリント用に最適化され、研究開発に広く利用されています。

UVナノインプリント用樹脂 PAK-01
PAK-01の特長

塗布性:スピンコート塗布性が高く、大面積にも対応
離型性:離型性が高く、モールドへのダメージは極少
転写性:最小20nmの転写が可能(PAK-01実績値)

PAK-01の性状

外 観 :透明粘凋性液体
動粘度:50~65cSt(約60mPa・sec)
推奨露光量:10mJ/cm2以上


UVナノインプリント用樹脂 PAK-01ラインナップ

さまざまな用途・プロセスに対応できるよう、膜厚に応じた幅広いラインナップをご用意しています。膜厚14ミクロンから60ナノメートルの範囲でご検討いただけます。

UVナノインプリント用樹脂 PAK-01ラインナップ

UVナノインプリント用樹脂 PAK-01使用実績と検討例

UVナノインプリント用樹脂 PAK-01は国内外の研究機関で幅広く使用されており、試験用の樹脂として高い評価を頂いています。使用する基板やモールドの材質を選ばないためプロセスマージンが広く、多くの加工プロセスに対応できます。高アスペクト比の転写やドライエッチングプロセスの初期検討など、幅広い研究分野でご検討頂いています。

早稲田大学

早稲田大学Si基板の加工例
UVナノインプリント用樹脂 PAK-01パターンをレジストとして利用することで、ドライエッチング法によるSi加工が可能です。残膜の厚みを正確にコントロールするため、薄膜塗布タイプのPAK-01が使用されています。


産業技術総合研究所、東京理科大学産業技術総合研究所、東京理科大学

ナノインプリントの分解能の検討例
ナノインプリントのパターニング精度はUVナノインプリント用樹脂 PAK-01のLER(ラインエッジラフネス)の値から検討され、他の加工技術(半導体リソグラフィー等)よりも圧倒的に良好であることが実証されました。



首都大学東京首都大学東京

高アスペクトパターニング検討例
高アスペクトのナノパターンを有するモールドを作製し、UVナノインプリント用樹脂 PAK-01に転写しています。このようなアスペクトが高い転写の場合でもパターン崩れが起こりません。



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