TOYO GOSEI 東洋合成工業株式会社


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UVナノインプリント実験キット
  • UVナノインプリント
  • 真空対応UVナノインプリント

UVナノインプリント実験キット

UVナノインプリントをご検討中のご担当者様、お気軽にお問い合わせ下さい。
早稲田大学准教授 水野 潤先生監修による、UVナノインプリントの初期検討用に最適な実験キットをご用意しました。 インプリント冶具、モールド、UVライト、樹脂をカバン一つにパッケージ化していますので、スタート時に発生しがちな手間や負担、初期検討の支出を最小限に抑えることができます。

セット内容
  • 石英モールド×1・・・・・・・・・・・・・外形20mm□、有効面積15mm□(離型処理済)
  • UV-NIL用冶具×1セット・・・・・・・・・・モールドホルダー×1、台座×1、プレス用の重り×1
  • UV-ナノインプリント用樹脂(5種類)・・・各100g
     無溶媒タイプ:PAK-01、PAK-01-CL(PAK-01のカラーレス品)
     薄膜塗布用:PAK-01-500、PAK-01-200、PAK-01-60
  • サービス付属品・・・・・・・・・・・・・ペン型UV光源×1
  • 推奨基板・・・・・・・・・・・・・・・・Siまたはガラス基板
  • 推奨基板サイズ・・・・・・・・・・・・・25mm□~30mm□または25mmφ~30mmφ程度

UVナノインプリント実験キットの内容

インプリント冶具

インプリント冶具
転写時にモールドを垂直に押し込むための冶具です。
平行出しが容易にできます。

石英ナノモールド

石英ナノモールド
凸版印刷(株)様作製の石英モールドです。
離型処理を施していますので、そのままご使用いただけます。
100nm幅のラインやハニカム構造を有しています。


UVナノインプリント用樹脂(PAK-01シリーズ)

UVナノインプリント用樹脂(PAK-01シリーズ)
各種膜厚で検討が出来るように数種類の樹脂を付属しています。

小型UV-LEDライト

小型UV-LEDライト
露光機やUV光源をお持ちでない方のために簡易UVライトを付属しています。


UVナノインプリント実験キットの使用例

モールドのパターン面が均一に基板に加圧されるような仕組みが設計されています。特に低残膜厚のUV-NILを検討する場合には、本キットのメリットは大きくなります。

加圧前の冶具

加圧前の冶具

加圧時の様子(横側)

加圧時の様子(横側)

露光時の様子

露光時の様子



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