TOYO GOSEI 東洋合成工業株式会社


すべてはここから 私たちの生命線「研究開発」


研究開発
R&D

UVナノインプリント技術の特長
  • ナノインプリントとは
  • UVナノインプリントの技術的優位性

UVナノインプリントの技術的優位性

従来技術との比較

ナノインプリント(NIL)は、他の微細加工技術では困難な大面積加工が可能な点が最大の特長です。適用できる加工寸法・面積の範囲が非常に広いため、幅広い用途に対応できます。加工精度も非常に良好であり、半導体リソグラフィーを凌駕する解像度を示します。

従来技術では、最小加工寸法と加工面積にトレードオフの関係があります。
従来技術では、最小加工寸法と加工面積にトレードオフの関係があります。
成型技術をベースとするナノインプリント(NIL)は、幅広い加工寸法と加工面積に対応します。
成型技術をベースとするナノインプリント(NIL)は、幅広い加工寸法と加工面積に対応します。
熱ナノインプリントとの比較

ナノインプリントには主に熱方式と光(UV紫外光)方式の2種類があります。中でもUVナノインプリント(UV-NIL)は転写性とプロセス速度の点で圧倒的に優位です。室温で瞬時硬化が可能な光硬化性樹脂を使用するため、加熱、加圧によるパターン変形を生じず、高速プロセスが可能です。

熱ナノインプリントとの比較


Copyright (C) Toyo Gosei Co., Ltd All rights reserved