TOYO GOSEI 東洋合成工業株式会社


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研究開発
R&D

UVナノインプリント技術の特長
  • ナノインプリントとは
  • UVナノインプリントの技術的優位性

ナノインプリントとは

ナノインプリント(NIL)とは、樹脂をモールド(型)と基板で挟み込み、ナノメートルオーダーのパターンを転写する微細加工技術です。ナノインプリント(NIL)の工程は、(1)塗布、(2)プレス、(3)転写(UV光または熱)、(4)離型、の4つの要素からなり、非常に単純なプロセスでナノサイズの加工が完成します。装置が簡易で高スループットが期待されるため、低コストで量産できる微細加工技術として期待されています。半導体デバイス、ストレージメディア、バイオ、光学部材など多方面の分野で、実用化への取組みが進んでいます。

1.塗布/2.加圧/3.形状転写/4.離型


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